RPS遠(yuǎn)程等離子源SPR-08
<p>SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術(shù)的自成一體的原子發(fā)生器,它的功能是用于半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體原子級(jí)別的清潔,使用工藝氣體三氟化氮(NF3)/O2,在交變電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用下,原材料氣體會(huì)被解離,從而釋放出自由基,活性離子進(jìn)入工藝室與工藝室上沉積的污染材料(SIO/SIN)或者殘余氣體(H2O、O2、H2、N2)等物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),聚合為高活性氣態(tài)分子經(jīng)過(guò)真空泵組抽出處理腔室,提高處理腔室內(nèi)部潔凈度。</p>